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清洗换液机构和芯片检测装置制造方法及图纸
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文档序号:17089929
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本实用新型提供一种清洗换液机构和芯片检测装置,清洗换液机构包括升降组件、平移组件、吹气组件、注液组件、吸液组件和芯片位,吹气组件包括气体通道和气泵接口,气泵接口和气体通道连接,气体通道的出气口用于向芯片位吹气,注液组件包括第一导管,注液组件...
该专利属于珠海意动智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海意动智能装备有限公司授权不得商用。
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