下载清洗换液机构和芯片检测装置的技术资料

文档序号:17089929

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本实用新型提供一种清洗换液机构和芯片检测装置,清洗换液机构包括升降组件、平移组件、吹气组件、注液组件、吸液组件和芯片位,吹气组件包括气体通道和气泵接口,气泵接口和气体通道连接,气体通道的出气口用于向芯片位吹气,注液组件包括第一导管,注液组件...
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