下载一种可拆卸碳化硅外延法制备石墨烯的装置的技术资料

文档序号:17084506

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本发明公开了一种可拆卸碳化硅外延法制备石墨烯的装置,所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板,所述金属托盘为内凹形;所述反应装置的顶部为可拆卸结...
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