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一种平面研磨设备，其中，加工台面设置于床台上，并设置有一承载台，用以固定要进行研磨的载板，承载台能沿着一Y轴方向移动；研磨单元包含Z向移动基座、主轴马达及磨轮，主轴马达设置于Z向移动基座上，磨轮与主轴马达连接，Z向移动基座能沿着一X轴方向及...
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