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本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域,具体提供了一种用于离子镀膜机的高真空机组,包括:真空室;通过真空管道与真空室连接的冷阱;安装在真空管道上的气动挡板阀;安装在冷阱下方且与冷阱通过管道连通的扩散泵;通过连接管道与扩散泵连接的前级泵;安装在真...该专利属于广州市靓渡塑料镀膜有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州市靓渡塑料镀膜有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域,具体提供了一种用于离子镀膜机的高真空机组,包括:真空室;通过真空管道与真空室连接的冷阱;安装在真空管道上的气动挡板阀;安装在冷阱下方且与冷阱通过管道连通的扩散泵;通过连接管道与扩散泵连接的前级泵;安装在真...