下载一种多方向微纳力测量装置的技术资料

文档序号:17055737

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本实用新型公开了一种多方向微纳力测量装置,包括加载机构、标准微纳力值发生装置、弹性支撑机构和位置测量装置,所述弹性支撑机构的末端与位置测量装置连接,所述标准微纳力值发生装置和加载机构分别安装在弹性支撑机构的两侧。本实用新型包括加载机构、标准...
该专利属于广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)所有,仅供学习研究参考,未经过广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)授权不得商用。

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