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声波谐振器及其制造方法技术
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文档序号:17055486
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提供一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;激活振动区域,所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极;水平谐振抑制部,通过所述压电层形成且设置在所述压电层中,所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。
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