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流体配送器、流体配送控制装置及流体配送异常监控装置制造方法及图纸
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下载流体配送器、流体配送控制装置及流体配送异常监控装置的技术资料
文档序号:17052871
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一种流体配送器,包含:一流体分配管路,用以接收并配送一流体;一微机电传感器,用于感测流体配送器的一运动状态,其中当运动状态为异常状态时,微机电传感器送出一异常讯号;以及一截止控制器,根据异常讯号,截止流体的配送。此外,本发明还提出一种流体配...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
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