下载一种碳化硅/晶体-锗/石墨烯异质结光电器件及其制造方法的技术资料

文档序号:17035701

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本发明公开一种碳化硅/晶体‑锗/石墨烯异质结光电器件及其制造方法,该光电器件包括两电极,两电极之间从上往下依次连接有石墨烯层、晶体锗薄膜层、单晶碳化硅衬底,所述石墨烯层为单原子层厚或者多原子层厚,晶体锗薄膜层的厚度为0.5‑5微米,单晶碳化...
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