下载一种制作大面积多光束干涉的装置的技术资料

文档序号:17031444

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本发明公开了一种大面积多光束干涉的产生方法及装置,包括相干点光源和拼接透镜。本发明的装置结构简单、易于实现、成本低廉,只需一个拼接透镜就能产生多种大面积的多光束干涉。该方法及装置应用于大面积周期型、准晶型光子微结构的制作,可以显著提高光子微...
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