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本发明公开了一种用于检查基板上的粘合剂图案的检查设备和方法。所述检查设备包括至少一个传感器，所述至少一个传感器具有用于检测所述粘合剂珠粒的图案的热传感器头、用于容纳所述热传感器头的外壳，以及控制器。最初向控制器提供表示所需粘合剂图案的参考数...
该专利属于诺信公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺信公司授权不得商用。

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