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用于垂直传输场效应晶体管的互连制造技术
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下载用于垂直传输场效应晶体管的互连的技术资料
文档序号:17010166
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本发明涉及用于垂直传输场效应晶体管的互连,提供垂直传输场效应晶体管的结构及制造方法,该结构包括垂直传输场效应晶体管,其具有位于半导体层中的源极/漏极区域,从该半导体层中的该源极/漏极区域伸出的鳍片;以及在该半导体层上并耦接该鳍片的栅极电极。...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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