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提供一种监测产品上的静电量的装置及机台。所述监测产品上的静电量的装置包括:静电检测器、控制器和移动机构,其中,静电检测器固定在移动机构上,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的移动而同步进行相同的移动,以使静电检测器和所述产品...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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