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本发明公开了一种屏蔽泵流体泄漏的检测系统和方法，在屏蔽泵内定子线圈二侧安装电容传感器；在电容传感器的每侧各安装温度传感器；在屏蔽泵的屏蔽腔内安装气压传感器。本发明结构简单，价格便宜，灵敏度高，动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适...
该专利属于尤煦明所有，仅供学习研究参考，未经过尤煦明授权不得商用。

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