下载真空度在线检测及其补偿系统的技术资料

文档序号:17003527

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本发明涉及一种真空度在线检测及其补偿系统,包括真空度检测系统以及真空度补偿装置,所述真空度检测系统包括数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞、历史数据曲线生成模拟器、历史数据曲线分析处理器;通过检测模块实时检测真空设备的真空度...
该专利属于成都倍特科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都倍特科技有限责任公司授权不得商用。

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