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本发明公开了一种高致密度高硬度的高纯硼靶的制造方法，其是采用放电等离子烧结技术对纯度不低于99.9％、粒径不大于10μm的单质硼粉进行固结成形，通过梯级施加20～50MPa的轴向压力的同时以50～150℃/min加热至1480～1630℃后...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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