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一种制备管状靶材的方法,所述方法包括:选取已经过清洗和粗化处理的不锈钢背衬管;在含氧气氛中采用真空气雾化方法制备(铜铟镓)合金粉末;在大气气氛中,采用等离子喷涂或冷喷涂等方法在背衬管上喷涂过渡层,得到包含过渡层的不锈钢背衬管;在大气气氛中,...
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