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一种硅片切割砂浆的回收方法技术
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文档序号:16996174
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本发明公开一种硅片切割砂浆的回收方法,包括以下步骤:a、将硅片切割机使用后的废砂浆收集后置于搅拌机中,加入去离子水稀释;b、将稀释后的废砂浆送入压滤机,使其固液分离;c、在固液分离后的液体中加入活性炭进行脱色;d、将脱色后的液体送入粗效过滤...
该专利属于崔敏娟所有,仅供学习研究参考,未经过崔敏娟授权不得商用。
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