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一种双面平面研磨抛光机制造技术
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下载一种双面平面研磨抛光机的技术资料
文档序号:16987030
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本申请公开了一种双面平面研磨抛光机。本申请的双面平面研磨抛光机,包括上磨盘、下磨盘和游星轮,以及三个独立运行的驱动装置,即第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置;第一驱动装置独立的驱动上磨盘转动,第二驱动装置独立的驱动下磨盘转动,第三驱动...
该专利属于贺德荣所有,仅供学习研究参考,未经过贺德荣授权不得商用。
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