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一种垂直腔面发射同轴封装光电器件制造技术
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文档序号:16978059
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本实用新型公开了一种垂直腔面发射同轴封装光电器件,包括:VCSEL激光器芯片(1)、Si基集成器件(2)、TO底座(3)、TO帽(4)和平面玻璃(5)。其中所述VCSEL激光器芯片(1)通过共晶焊接贴装在所述Si基集成器件(2)上;所述Si...
该专利属于武汉盛为芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉盛为芯科技有限公司授权不得商用。
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