温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供用于太阳能电池制造中的设备(100)、以及用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统(400)。所述设备(100)包括第一致动器(110)和第二致动器(120)，其中第一材料处理装置(112)可连接到所述第一致动器(110)。第...
该专利属于应用材料意大利有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料意大利有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。