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本实用新型涉及一种具缓存功能的硅片自动上料装置，它包括支撑箱体、安装在所述支撑箱体顶部的输料箱体、安装在所述输料箱体内且首尾相对设置的至少两组输料机构、设置于所述输料机构上的至少一组花篮以及安装在所述输料机构两侧用于对所述花篮进行纠偏的定位...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。

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