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本发明公开了一种全自动硅片插片机，其包括机架、花篮输送装置和分片插片装置；花篮输送装置包括空花篮输送线、负载花篮输送线和机械臂，空花篮输送线和负载花篮输送线相对设置于机架的两侧，机械臂设于机架上部且可自由移动；分片插片装置包括分片水槽、硅片...
该专利属于昆山安谷自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山安谷自动化设备有限公司授权不得商用。

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