下载带有传感器的流体控制阀的技术资料

文档序号:16965444

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本发明提供一种带有传感器的流体控制阀(1),其具有流体控制阀主体(2)和检测振动(S)的振动传感器(3),流体控制阀主体(2)具有使可动铁心(9)移动的致动部(4)和形成有阀座(14a)的阀部(5),设于可动铁心(9)的隔膜阀芯(16)与阀...
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