下载22寸热场使用23寸碳碳坩埚的技术资料

文档序号:16963173

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本发明公开了一种22寸热场使用23寸碳碳坩埚,包括碳碳坩埚、坩埚底托和保温板,其特征在于,所述碳碳坩埚为高纯碳碳复合材料,碳碳坩埚整体由相同的三瓣组合而成,所述碳碳坩埚底部锥形凸台安装在坩埚底托中心位置槽内,所述坩埚底托材料为高强度等静压细...
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