下载掩蔽模的洗净方法及洗净装置的技术资料

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一种掩蔽模洗净方法及洗净装置,可可靠地洗净掩蔽模,无污染环境问题,且运转成本低。在用洗净液洗净由涂料形成涂膜的反复用于覆盖部件的非涂漆面的掩蔽模的工序中,至少包括:(1)将含有界面活性剂的洗净液喷涂到掩蔽模上,在该掩蔽模表面形成界面活性剂膜...
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