温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种大量程三维表面轮廓测量装置。该装置包括光源、同轴照明观察装置、干涉物镜、面阵CCD相机、PZT+电机驱动线性位移平台(电机驱动线性位移平台)、载物台。照明光路出射光朝向分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向干涉物镜；PZT和电机...
该专利属于镇江超纳仪器有限公司（中外合资）所有，仅供学习研究参考，未经过镇江超纳仪器有限公司（中外合资）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。