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可燃气体和蒸汽的平面热催化传感器制造技术
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文档序号:16934240
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本发明涉及基于热催化工作原理的气体分析和可燃气体与蒸汽分析仪。本发明的主题是传感器,其敏感元件由可以容易自动化的平面技术制造。主要区别特征是活性传感器元件和比较传感器元件共同位于多孔阳极氧化铝的公共基板上的单个微米级结构部件(微芯片)中。传...
该专利属于俄罗斯石油公司所有,仅供学习研究参考,未经过俄罗斯石油公司授权不得商用。
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