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被检查体摄像装置、被检查体摄像方法、表面检查装置以及表面检查方法制造方法及图纸
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下载被检查体摄像装置、被检查体摄像方法、表面检查装置以及表面检查方法的技术资料
文档序号:16934231
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高灵敏度地发现在具有可见光的波长程度的表面粗糙度的被检查体的表面所产生的为表面粗糙度的数倍左右的凹凸缺陷等,来准确地进行存在于被检查体的表面的脏污与凹凸瑕疵的区分,并且实现装置的小型化。本发明所涉及的被检查体摄像装置具备:光源,其产生属于红...
该专利属于新日铁住金株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新日铁住金株式会社授权不得商用。
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