下载仪器驱动器中的测力传感器的技术资料

文档序号:16934171

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一种用于从机械臂向仪器提供驱动的驱动单元,所述驱动单元包括:用于接合所述仪器的相应元件的多个驱动元件,每个驱动元件能够沿驱动轴线移动,每个所述驱动元件的所述驱动轴线基本上彼此平行;以及测力传感器结构,该测力传感器结构包括多个可偏转体和框架,...
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