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本发明涉及一种按照本发明的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在第一方法步骤(21)中，通过至少一个附加的测量系统(33)在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的数据检测率检测粗糙度传感...
该专利属于卡尔蔡司工业测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司工业测量技术有限公司授权不得商用。

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