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具有：干涉条纹生成光学系统(11)，其生成干涉条纹；以及放大光学系统(21)，其将干涉条纹放大而投影到物体表面(70)上，放大光学系统(21)由形成干涉条纹的光束所入射的一侧的入射侧透镜组(22)和射出光束而朝向物体表面投影干涉条纹的一侧的...
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