下载液体处理模块的技术资料

文档序号:16932729

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一种液体处理模块(2),配置成用于流过第一处理室(6)的液体(4)的紫外(UV)光处理,第一处理室(6)被限定为第一半透明内套管(12)的外表面(10)与第一外套管(18’)的内表面(16)之间的第一细长的周向中空腔(8),该第一外套管(1...
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