下载卡盘装置的技术资料

文档序号:16932006

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支持和夹持卡盘爪部件(110、120),分别地,设置为彼此接合,从而相应的接触表面(113、123)彼此接触以一起形成用于卡盘(10)的卡盘爪(100)。本发明的特征在于,支持卡盘爪部件是由比制造夹持卡盘爪部件的金属材料更硬的金属材料而制成...
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