温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种电子级NF3气体的水分分析系统，包括四部分，第一，吹扫部分：包括高纯氮气钢瓶(1)、第一减压阀(2)、在高纯氮气的流动方向下游还接有纯化装置(3)和第一隔膜阀(4)及连接管路；第二，抽真空部分：包括第二隔膜阀(5)和真空...该专利属于洛阳黎明大成氟化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳黎明大成氟化工有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种电子级NF3气体的水分分析系统，包括四部分，第一，吹扫部分：包括高纯氮气钢瓶(1)、第一减压阀(2)、在高纯氮气的流动方向下游还接有纯化装置(3)和第一隔膜阀(4)及连接管路；第二，抽真空部分：包括第二隔膜阀(5)和真空...