温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种氢化物气相外延石墨舟结构，包括石墨舟和设在石墨舟上表面的衬底片，所述石墨舟上表面装设有遮挡片，该遮挡片上设有与衬底片大小匹配的通孔，衬底片位于该通孔中被遮挡片包围住，遮挡片嵌装在石墨舟上，或者通过连接件固定安装在石墨舟上...
该专利属于东莞市中镓半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中镓半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。