下载玻璃基板承载装置及检测设备的技术资料

文档序号:16918204

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本发明提供了一种玻璃基板承载装置,用于承载玻璃基板,包括相对设置的两个套轴,设置于所述两个套轴之间的平行设置的支撑轴以及数个支撑杆,所述支撑杆支撑端部设有真空吸附孔以吸附所述玻璃基板,所述支撑轴可沿着所述套轴的延伸方向移动,所述支撑杆吸附于...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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