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本发明属于微电子器件领域，提出了一种基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，包括硅衬底，硅衬底上表面淀积绝缘层，绝缘层上表面沉积布拉格反射层，布拉格反射层上表面淀积有底电极，AlN压电薄膜设置在底电极和布拉格反射层上方，AlN压电...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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