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天津中亚慧通科技有限公司
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一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器制造技术
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文档序号:16900963
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本实用新型提供一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器,从上到下依次包括上蓝宝石固定极板、硅可动电极、下蓝宝石固定极板、导压管和底座,导压管设置在底座中,上、下蓝宝石固定极板的中心均设有导压孔,导压孔与导压管相通,硅可动电极上设有的中间硬芯的...
该专利属于天津中亚慧通科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津中亚慧通科技有限公司授权不得商用。
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