下载白光光谱共焦线扫描装置的技术资料

文档序号:16900672

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一种白光光谱共焦线扫描装置,把白色光源通过准直镜、单维聚焦镜、单维准直镜、平面反射振镜、抛物面反射镜、单维色散聚焦镜转变成一束随平面反射振镜转动扫描的线状扫描线,平面反射振镜转动的角度为线状扫描线对物体表面扫描的行程,被测物体表面的变化,会...
该专利属于浙江协同光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江协同光电科技有限公司授权不得商用。

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