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本发明公开一种晶硅太阳能电池抛光片的加工方法,包括步骤;1)用RIE刻蚀在电池抛光片表面形成一层损伤层;2)用表面腐蚀液对步骤1)处理过的硅片进行表面腐蚀,形成微米凹坑;3)用HF‑HCl混酸药液除去步骤2)的腐蚀过程中产生的杂质及金属离子...该专利属于广东爱康太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东爱康太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种晶硅太阳能电池抛光片的加工方法,包括步骤;1)用RIE刻蚀在电池抛光片表面形成一层损伤层;2)用表面腐蚀液对步骤1)处理过的硅片进行表面腐蚀,形成微米凹坑;3)用HF‑HCl混酸药液除去步骤2)的腐蚀过程中产生的杂质及金属离子...