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本发明内容为一种检测氢气、碳氢化合物、氨气等气体的集成传感器芯片，可以解决现有传感器存在的能耗高、尺寸大、选择性差、易受环境干扰问题，尤其适合无线传感器网络构建。该芯片传感器最大的特点是利用MEMS技术将传感单元(1)与参照传感单元(2)集...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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