下载一种采用环形光栅的焦距检测装置及方法的技术资料

文档序号:16885101

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本发明公开了一种采用环形光栅的焦距检测装置及方法,该装置包括共光轴顺次设置的激光器、准直扩束物镜、待测系统、第一光栅、第二光栅、接收屏、成像物镜、CCD;方法为:由激光器发出的激光由光纤导出,经过准直扩束物镜,得到一束均匀的平行光,此时未放...
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