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本发明涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，包括：同心设置的基体齿盘和旋环，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部圆周均布有若干正多边形孔，所述正多边形孔的每个顶角处均设置有夹杆，所述夹杆上设置有滑槽，所述滑槽内设...
该专利属于德清凯晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德清凯晶光电科技有限公司授权不得商用。

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