下载致动器的控制装置、致动器、阀驱动装置以及致动器的异常检测方法的技术资料

文档序号:16879392

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本发明的WG致动器的控制装置具备:反馈控制部,该反馈控制部对WG致动器进行反馈控制以使得位置传感器所检测出的杆的位置接近目标位置;以及异常检测部,该异常检测部将使杆在轴向上移动的指示提供给反馈控制部,基于反馈控制部执行该指示的期间内由位置传...
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