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本实用新型公开了一种碳碳载板圆弧面的定位硅片，它涉及工业产品设计技术领域。它包括载板粗限位方框、载板精限位圆弧面和载板内框，载板粗限位方框内部设置有多个载板内框，载板内框之间还设置有载板精限位圆弧面。本实用新型对光伏行业的板式PECVD的工...
该专利属于上海弘竣实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海弘竣实业有限公司授权不得商用。

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