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本发明公开了一种涂胶装置,包括承载装置和接口装置,所述接口装置架设在所述承载装置上;所述接口装置上设置有至少2个转接部件,所述转接部件的第一端具有第一接口,所述转接部件的第二端具有第二接口,所述第一接口用于连接光刻胶容器,所述第二接口用于连...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种涂胶装置,包括承载装置和接口装置,所述接口装置架设在所述承载装置上;所述接口装置上设置有至少2个转接部件,所述转接部件的第一端具有第一接口,所述转接部件的第二端具有第二接口,所述第一接口用于连接光刻胶容器,所述第二接口用于连...