下载一种光阻组合物及光阻的技术资料

文档序号:16864107

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本发明提供一种光阻组合物及光阻,该光阻组合物包括:质量百分比为4~10%的树脂基体、质量百分比为5~8%的颜料/染料、质量百分比为0~5%的活性稀释剂单体、质量百分比为70~80%的溶剂;树脂基体中包含有丙烯酸树脂以及自引发树脂;自引发树脂...
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