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一种大尺寸石英板及生产石英板的连熔炉制造技术
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文档序号:16862232
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一种大尺寸石英板及生产石英板的连熔炉,其特征在于:石英板厚度为60mm,宽度为500mm;一种生产大尺寸石英板的连熔炉,包括生产用炉体,设于炉体内的钨坩埚,设于钨坩埚及炉体壁之间的保温层,钨坩埚顶部设有加料管和钨芯杆保护气入口,钨坩埚底部设...
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