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本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的方法。该方法包括以下步骤：S1，将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏，得到的反应产物；S2，将反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品；S3，将提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去除杂...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。