下载一种电子束光学系统及增材制造装置的技术资料

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本实用新型属于3D打印技术领域,公开了一种电子束光学系统,包括均设有供电子束通过的束通孔且束通孔依次连通设置的聚焦系统、正偏转系统、负偏转系统以及偏转系统,正偏转系统的束通孔与负偏转系统的束通孔交错设置,所述电子束经聚焦系统射入,并依次经正...
该专利属于清华大学天津高端装备研究院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学天津高端装备研究院授权不得商用。

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